樣品對準

探測Z方向的位置和傾斜，傾轉軸探測精度：0.001°，Z向精度：1μm

儀器對準

光學系統角度傾轉調整，獨立于樣品位置，傾轉軸探測精度：0.001°

Z軸升降系統

行程范圍：>100mm，可重復性：lμm

光源

低氙弧燈激光光源，噪聲低至0.1%，長壽命10000小時；

可選單波長激光光源或200-2000nm連續波長光源；

提供250-1700nm光柵單色器，中段波長精度＜1nm，帶寬5/6/12nm；

可選光斑切割照明模塊，實現透明基底薄膜的無背底反射干擾測量；

光學成像系統

聚焦掃描系統，在變角度測量時(<80°)實現實時圖像，兼容所有物鏡，橫向分辨率＜1μm；

全畫幅聚焦圖像/實時視頻，橫向分辨率2μm，工作入射角：52°~57°；

探測器

單色千兆網(GigE)CCD相機，波長：360nm-1000nm，1392×1040 px，12位，40幀/秒；

可選近紅外(NIR)探測相機和紫外線(UV)探測相機；

可選多相機匹配及切換系統；

物鏡

2×-50×物鏡；

UV/IR物鏡；

自動轉角儀

入射角范圍：38°-90°，分辨率：0.001°，角精度：0.01°，轉動速度：-5°/秒

Z軸自動升降系統

行程：12cm，可重復性：1μm，分辨率0.5μm

拓展附件

表面等離子共振（SPR）單元，固/液界面分析單元，光導液/液界面分析單元，微流控分析單元，溫度控制單元，電化學分析單元等

聯用技術

AFM、石英晶體微天平、反射光譜儀、拉曼光譜儀、白光干涉儀等