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原子力顯微鏡可進行高精度的粗糙度、臺階高度及微納米級別三維輪廓等測量，同時可以測量相位、電場、磁場、導電力等其他各種高級物理量。
橢偏儀：超薄膜的實時可視化分析測試，實時觀察樣品微觀尺度上的結構。可以測量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數等參數。也可以對薄膜進行區域化(選區)分析，獲得所選區域的成像分析圖。
白光干涉垂直掃描和移相干涉測量法，0.1nm臺階，采用TotalFocus 技術，全視場真彩色圖像。
多模組三維光學輪廓儀標配ZDot白光共聚焦逐層成像，可選裝多模式光學系統。
探針式輪廓儀（臺階儀）源自AFM的光學杠桿技術，精確測量臺階高度及表面輪廓。
探針式輪廓儀（臺階儀）高精度、低噪聲、高穩定性和大掃描量程，這些技術特點為P系列臺階儀在晶圓測試領域的廣泛使用奠定了堅實的基礎，也為其拓展了在其他材料測試方面的應用。
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